●移動方向: Z軸1方向(対称型)
●移動量: ±12.5mm
●ステージ面: 60mm×60mm
●使用モータ: PK523HPB相当(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相)
●分解能: 0.002mm
●送りねじ: ボールねじ(リード:1mm)
●移動ガイド: HG-VCR(V溝とクロスローラ)
●真直度: 0.002mm(水平・垂直)15sec(ヨーイング)25sec(ピッチング)
●位置決め精度: 0.010mm
●繰り返し精度: ±0.0003mm
●ロストモーション: 0.001mm
●モーメント剛性: ヨー剛性 0.1sec/N・cm ピッチ剛性 0.1sec/N・cm ロール剛性 0.1sec/N・cm
●耐荷重: 19.6N(2kgf)
●質量: 0.7kg
●最高速度(8000pps時)

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